光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡是清潔度分析領(lǐng)域常用的兩種儀器，那么這兩種分析方法的區(qū)別主要從兩方面來(lái)看。 從使用條件來(lái)看：
光學(xué)顯微鏡的信號(hào)源是可見(jiàn)光的，可見(jiàn)光的波長(zhǎng)較長(zhǎng)，可以輕松繞過(guò)空氣分子，因此可以在大氣環(huán)境下運(yùn)行。
掃描電鏡的信號(hào)源是電子束，相對(duì)于可見(jiàn)光，電子束的波長(zhǎng)短，所以分辨率高，圖像清晰；不過(guò)，較短的波長(zhǎng)，繞過(guò)空氣分子的能力將會(huì)變差，因此掃描電鏡sem內(nèi)部會(huì)通過(guò)多級(jí)真空泵，將空氣分子抽走，以維持一定的真空度。
從測(cè)試結(jié)果來(lái)看：
由于其價(jià)格低廉、操作簡(jiǎn)單在清潔度分析領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。在光學(xué)顯微鏡下，金屬顆粒會(huì)有一定的反光，非金屬顆粒不反光，因此可以根據(jù)顆粒是否反光，來(lái)大致區(qū)分金屬和非金屬，但是局限性是無(wú)法分析出具體是哪一種類(lèi)的顆粒。
掃描電鏡除了可以找到雜質(zhì)顆粒外，還可以分析顆粒的種類(lèi)。通過(guò)搭配能譜探測(cè)器，通過(guò)能譜信號(hào)，進(jìn)一步給出顆粒的元素種類(lèi)和含量信息，進(jìn)而對(duì)照數(shù)據(jù)庫(kù)，就能判斷出顆粒的種類(lèi)。
那么掃描電鏡sem和清潔度分析對(duì)樣品的要求都有哪些？
掃描電鏡對(duì)制樣的要求：粉末樣品一定要粘牢，未粘牢的顆粒需要用洗耳球或壓縮空氣吹掃干凈。因?yàn)楣潭ú焕蔚念w粒在抽真空過(guò)程中會(huì)飄浮起來(lái)，會(huì)污染光路，嚴(yán)重者甚至可撞破能譜探測(cè)器的探頭，對(duì)掃描電鏡sem會(huì)造成一定的損壞。
清潔度分析對(duì)制樣的要求：清潔度分析的樣品為濾膜，濾膜樣品不能吹掃。因?yàn)椴糠诸w粒物靠重力落在濾膜上，吹掃會(huì)損失這部分顆粒，會(huì)造成結(jié)果的不準(zhǔn)確的事情發(fā)生。
因此，掃描電鏡的安全性和清潔度分析的準(zhǔn)確性產(chǎn)生了矛盾，前者要吹掃，后者不能吹掃，那么該如何解決這一矛盾呢？
兼顧掃描電鏡sem安全性和清潔度分析準(zhǔn)確性的制樣方法：濾膜顆粒固定法
為了解決上面的矛盾，我們分享一套簡(jiǎn)單有效的方法：濾膜顆粒固定法。將配置好的固定液，滴在錫箔紙上并涂勻，將濾膜平鋪在固定液上。由于毛細(xì)現(xiàn)象，固定液會(huì)順著濾膜微孔滲到濾膜上表面，將濾膜顆粒固定。
更新時(shí)間：2022-07-26 
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